X射線熒光光譜儀由激發(fā)光源、單色器、狹縫、樣品室、信號檢測放大系統(tǒng)和信號讀出、記錄系統(tǒng)組成。激發(fā)光源提供用于激發(fā)樣品的入射光的來源。單色器用來分離出所需要的單色光。信號檢測放大系統(tǒng)用來把熒光信號轉化為電信號，結合放大系統(tǒng)上的讀出裝置可顯示或記錄熒光信號。
 

　　X射線熒光光譜儀由光源氙弧燈發(fā)出的光通過切光器使其變成斷續(xù)之光以及激發(fā)光單色器變成單色光后，此光即為熒光物質的激發(fā)光，被測的熒光物質在激發(fā)光照射下所發(fā)出的熒光，經(jīng)過單色器變成單色熒光后照射于測樣品用的光電倍增管上，由其所發(fā)生的光電流經(jīng)過放大器放大輸至記錄儀，激發(fā)光單色器和熒光單色器的光柵均由電動機帶動的凸輪所控制，當測繪熒光發(fā)射光譜時，將激發(fā)光單色器的光柵，固定在適當?shù)募ぐl(fā)光波長處，而讓熒光單色器凸輪轉動，將各波長的熒光強度訊號輸出至記錄儀上，所記錄的光譜即發(fā)射光譜(emissionspectrum)，簡稱熒光光譜。
 

　　為保持儀器表面清潔，可用洗滌劑稀釋后用干凈的紗布浸濕后擦拭，再用干凈濕紗布擦洗。
 

　　X射線熒光光譜儀中的透鏡應保持清潔，如發(fā)現(xiàn)不潔現(xiàn)象，可用脫脂棉蘸乙醇和C?H?OC?H?的混合液擰干后擦拭。
 

　　原子化室內容易受酸氣和鹽類的侵蝕，因此透鏡前帽蓋和原子化器上會有白色沉淀物形成的斑點，可用干凈的紗布擦拭，以保持清潔。
 

　　原子熒光光譜法是一種痕量和超痕量分析方法。因此，在測定較高含量樣品時，應預先稀釋后進行測定，如不慎遇到*含量時(特別是Hg)則管路系統(tǒng)將受到嚴重污染。處理方法可將載流/樣品進樣管放入10%HCl(V/V)溶液中，啟動蠕動泵不斷進行清洗，如仍然難以清洗干凈時，則需更換聚四氟乙稀管路，一般情況下，均可得明顯改善，如仍有殘余難以清除情況下，則需對石英爐管情況，按照說明書將石英爐管拆下，用20—30%王水浸泡24小時左右。然后再用去離子水清洗干凈，晾干或置于烘箱內烘干后使用。