場發(fā)射掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡,它采用尖端肖特基熱場發(fā)射技術(shù),具有許多優(yōu)勢(shì)和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,它的工作原理主要包括以下幾個(gè)步驟:
1.電子源:使用場發(fā)射電子槍作為電子源,通過強(qiáng)電場使金屬的電子脫離束縛,形成高亮度、高相干性的電子束。
2.電子光學(xué)系統(tǒng):電子束經(jīng)過一系列的電磁透鏡和光闌進(jìn)行聚焦、偏轉(zhuǎn)和整形,最終形成一個(gè)細(xì)小的探針。
3.掃描系統(tǒng):掃描線控制電子?xùn)|在樣品表面進(jìn)行逐行掃描,與樣品相互作用產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號(hào)。
4.信號(hào)檢測與成像:配備多種探測器收集不同種類的信號(hào),并經(jīng)過放大、處理后生成反映樣品表面形貌、結(jié)構(gòu)和成分信息的圖像。
5.真空系統(tǒng):維持局真空環(huán)境以確保電子?xùn)|能夠在樣品表面產(chǎn)生足夠的信號(hào),并防止電子槍和樣品受到污染。
為了保證場發(fā)射掃描電鏡的正常運(yùn)行和延長其使用壽命,需要進(jìn)行嚴(yán)格的日常維護(hù)和管理:
1.環(huán)境條件控制:保持電鏡室內(nèi)的溫度、濕度、排氣、震動(dòng)、噪聲、磁場和接地等條件穩(wěn)定,避免對(duì)電子束產(chǎn)生干擾。
2.光學(xué)系統(tǒng)維護(hù):定期檢查和維護(hù)電子光學(xué)系統(tǒng)的燈絲和光闌,確保其處于良好狀態(tài)。
3.真空系統(tǒng)維護(hù):保持鏡筒和樣品室的高真空度,定期檢查真空泵的工作狀態(tài)并進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)。
4.樣品處理:確保待觀察樣品干燥、無污染物,并選擇合適的制樣方法進(jìn)行處理。