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波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀

簡(jiǎn)要描述:波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀WDA-3650用于薄膜評(píng)估的X射線熒光分析儀同時(shí)對(duì)各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無(wú)損、非接觸式分析。這是一種波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀(WD-XRF),可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。

  • 產(chǎn)品型號(hào):WDA 3650
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-04-09
  • 訪  問  量:1101

詳細(xì)介紹

品牌Rigaku/理學(xué)行業(yè)專用類型電子產(chǎn)品
元素分析范圍4是~92U價(jià)格區(qū)間面議
儀器種類臺(tái)式/落地式應(yīng)用領(lǐng)域電子

波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀WDA-3650用于薄膜評(píng)估,同時(shí)對(duì)各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無(wú)損、非接觸式分析。

這是一種波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀(WD-XRF),可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)(方法)可以精確分析各種金屬膜,避免衍射射線的影響。4kW大功率X射線管可實(shí)現(xiàn)超輕元素的高精度分析,例如BPSG薄膜的痕量元素測(cè)量和硼分析。還支持C-to-C運(yùn)輸機(jī)器人(可選)。它配備了自動(dòng)校準(zhǔn)(全自動(dòng)每日檢查和強(qiáng)度校正功能)。

◆支持微量元素的濃度和成分分析

適用于從輕元素到重元素的各種元素:4是~92U

高靈敏度硼檢測(cè)儀AD-硼

我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng),例如提高硼分析能力,以提高分析的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。此外,降溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

X-Y-θ驅(qū)動(dòng)級(jí)

X-Y-θ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)和測(cè)量方向設(shè)置程序可以在整個(gè)晶圓上精確測(cè)量薄膜厚度和成分分布。鐵電薄膜也不受衍射光束的影響。

應(yīng)用:

?半導(dǎo)體器件BPSG,SiO2四3N4

?摻雜多晶硅(B,P,N,AS),Wsix

?Al-Cu,TiW,TiN、TaN,PZT,BST,SBT

?MRAM

?金屬膜W,Mo,Ti,Co,Ni,Al,Cu,Ir,Pt,Ru

?磁盤CoCrTa,CoCrPt,DLC

?NiP

?磁光盤Tb-FeCo

?磁頭GMR,TMR

廣泛的固定測(cè)角儀產(chǎn)品陣容

我們根據(jù)膜厚和膜結(jié)構(gòu)提供最合適的固定測(cè)角儀。我們還在準(zhǔn)備一個(gè)專用的光學(xué)系統(tǒng),可以分析硅晶圓上的Wsix薄膜。

全自動(dòng)日常管理功能自動(dòng)校準(zhǔn)

為了獲得準(zhǔn)確的分析值,必須對(duì)儀器進(jìn)行正確校準(zhǔn)。為此,必須定期測(cè)量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓,以保持設(shè)備的健康狀況。這種常規(guī)校準(zhǔn)工作是自動(dòng)化的,減少了操作員的工作量。這就是AutoCal功能。

與C-to-C自動(dòng)輸送兼容

除了開放式暗盒外,還支持SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。此外,還可以與主機(jī)進(jìn)行SECS通信,并支持各種CIM/FA格式。

緊湊節(jié)能設(shè)計(jì)

主機(jī)占地面積1m2下面的緊湊型設(shè)計(jì)。無(wú)油變壓器的使用也使輔助設(shè)備更加緊湊和節(jié)能設(shè)計(jì)。

  • 同時(shí)評(píng)估薄膜厚度和成分

  • 適用于所有薄膜類型

  • 支持小于200mm的晶圓和介質(zhì)盤

  • 高分析性能、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性

  • 獲得的XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái),可獲得準(zhǔn)確的XRF結(jié)果

  • 高靈敏度硼分析(帶AD硼通道)

  • 使用可選的C到C自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)

  • 無(wú)油變壓器X射線發(fā)生器

  • 功耗比以前的型號(hào)低23%

產(chǎn)品規(guī)格:

產(chǎn)品名稱

WDA-3650

技術(shù)

同步波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀(WD-XRF)

最大200mm晶圓的多層堆疊的厚度和成分

科技

4kW X射線發(fā)生器,帶XYθ樣品臺(tái),Rh 陽(yáng)極 WDXRF

主要成分

多達(dá)20個(gè)通道,固定類型(?Be 至 ??U),掃描類型(??Ti 至 ??U)

選擇

靈敏的AD-硼通道,使用C-c-C自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)

控制(電腦)

內(nèi)置電腦,微軟視窗®操作系統(tǒng)

車身尺寸

1120(寬)x1450(高)x890(深)毫米

質(zhì)量

600公斤(主機(jī))

權(quán)力

三相200VAC 50/60Hz、30A或單相220-230VAC 50/60Hz 40A



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